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  • 蒸发沉积技术
  • 作者:英小诺   添加时间:2015-05-28 10:39:50   浏览:

 概述

 

激光蒸发沉积技术也叫做脉冲激光沉积,其原理是将激光聚焦于真空腔体的靶材上,将靶材汽化成等离子体,并沉积于基板上形成薄膜。激光蒸发沉积易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;且沉积速率高,实验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;目前所制作的薄膜主要包括半导体薄膜、高温超导薄膜、类金刚石薄膜、铁电薄膜、超晶格以及生物陶瓷图层等。

 

 样品

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